精密机械加工法是加工精度达到 1微米的机械加工方法。精密机械加工法主要有精车、精镗、精铣、精磨和研磨等工艺。在严格控制的环境条件下，使用精密机床和精密量具和量仪来实现的。加工精度达到和超过 0.1微米称超精密机械加工法。在航空航天工业中，精密机械加工主要用于加工飞行器控制设备中的精密机械零件，如液压和气动伺服机构。
一般用天然单晶金刚石刀具,刀刃圆弧半径小于0.1微米。在高精度车床上加工可获得1微米的精度和平均高度差小于0.2微米的表面不平度,坐标精度可达±2微米。②精铣：用于加工形状复杂的铝或铍合金结构件。依靠机床的导轨和主轴的精度来获得较高的相互位置精度。使用经仔细研磨的金刚石刀头进行高速铣切可获得的镜面。
机械加工实现零件精度的关键是选择合适的机床、刀具、工艺参数和工艺控制等。在实际生产中，要根据具体工件的要求，结合材料特性和加工工艺要求，选择合适的加工方法和相关参数。通过不断优化和改进，提高机械加工的技术水平和质量保障能力，才能更好地满足零件精度的需求。
设备的选择对于精密零件加工的效率和精度起着重要影响。首先需要根据加工零件的要求选择适合的设备类型，例如数控机床、自动化加工中心等。其次，要选择具有高精度、高刚性、高稳定性的设备，尽量避免设备因为自身性能问题而影响到加工质量。另外，设备的自动化程度也需要考虑，选择具有自动换刀、自动上下料等功能的设备，提高生产效率。此外，设备的维护保养也是至关重要的，定期检查维修设备，保持设备的良好状态，避免因设备故障而导致生产延误。